← На главную

IBM SWIFT выдавала 58 пластин в день и заложила основы чипов

21.05.2026 10:39 · hackernews

В 1970 году менеджер IBM Билл Хардинг задумал полностью автоматизированную линию по производству микросхем. Его цель — выпускать готовые чипы меньше чем за сутки — выглядела безумно. В то время создание простой RAM-микросхемы занимало больше месяца и требовало десятков ручных операций. Но Хардинг взялся за проект SWIFT (позже расшифровываемый как Semiconductor Wafer Integrated Factory Technology). Инженер Джесси Аронштейн, который поначалу не хотел снова становиться менеджером, возглавил группу разработки оборудования. Процессную группу повёл Уолтер «Уолли» Кляйнфельдер.

Сначала команда доказала, что само «сырое» время обработки пластины — всего 15 часов. Остальное — бесконечное ожидание между станциями. Кляйнфельдер сократил лишние шаги и ускорил процессы. Оборудование спроектировали с нуля: пластины не зажимались, а поддерживались снизу и даже перемещались воздушной подушкой (технология «Bernoulli»). Чтобы не зависеть от простоев, линию разделили на пять герметичных секторов с буферами. Между ними пластины возила монорельсовая «такси». Самый сложный момент — литография. Проекционный степпер (10:1) требовал, чтобы пластина возвращалась на тот же аппарат для каждого из четырёх слоёв. Управление трёхуровневое: центральный мейнфрейм IBM 1800, секционные контроллеры и локальные модули. Для надёжности использовали механические приводы Geneva drive и синхронные моторы на 3600 об/мин, исключив регулировку скорости.

К концу 1973 года IBM убедилась в успехе концепции. SWIFT переименовали в FMS Feasibility Line. Система выдавала 58 пластин в день (83% от плана) со средним временем оборота 20 часов. Наилучший непрерывный прогон длился 12 дней. Выход годных чипов достиг показателей обычной неавтоматизированной линии. 135 специалистов со всего мира обучились работе на системе. Они произвели 600 пластин с 17 000 чипов RAM-II. В 1975 году проект FS (Future System) отменили, но часть наработок перешла в линию QTAT. Наследие SWIFT — полная автоматизация, компьютерное управление, центральная транспортная система, бесконтактные манипуляторы, степперы и контроль процессов в реальном времени. Аронштейн, спустя годы, называет Хардинга истинным отцом современного полупроводникового производства.

Читать оригинал →